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SPM300系列半導(dǎo)體參數(shù)測試儀

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品時間:2024-05-20
  • 簡要描述:SPM300系列半導(dǎo)體參數(shù)測試儀基于拉曼光譜法的半導(dǎo)體參數(shù)測試儀,具有非接觸、無損檢測、特異性高的優(yōu)點(diǎn)??梢詫Π雽?dǎo)體材料進(jìn)行微區(qū)分析,空間分辨率< 800nm (典型值),也可以對樣品進(jìn)行掃描從而對整個面進(jìn)行均勻性分析。設(shè)備具有智能化的軟件,可對數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合計(jì)算,直接將載流子濃度、晶化率、應(yīng)力大小或者分布等結(jié)果直觀的展現(xiàn)給用戶。系統(tǒng)穩(wěn)定,重復(fù)性好,可用于實(shí)驗(yàn)室檢驗(yàn)或者產(chǎn)線監(jiān)測。
  • 產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品概述

SPM300系列半導(dǎo)體參數(shù)測試儀設(shè)備概覽

基于拉曼光譜法的半導(dǎo)體參數(shù)測試儀,具有非接觸、無損檢測、特異性高的優(yōu)點(diǎn)。可以對半導(dǎo)體材料進(jìn)行微區(qū)分析,空間分辨率< 800nm (典型值),也可以對樣品進(jìn)行掃描從而對整個面進(jìn)行均勻性分析。設(shè)備具有智能化的軟件,可對數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合計(jì)算,直接將載流子濃度、晶化率、應(yīng)力大小或者分布等結(jié)果直觀的展現(xiàn)給用戶。系統(tǒng)穩(wěn)定,重復(fù)性好,可用于實(shí)驗(yàn)室檢驗(yàn)或者產(chǎn)線監(jiān)測。

① 光路接口盒:

內(nèi)置常用激光器及激光片組,拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入;

② 光路轉(zhuǎn)向控制:

光路轉(zhuǎn)向控制可向下或向左,與原子力、低溫、探針臺等設(shè)備連用,可升級振鏡選項(xiàng)

③ 明視場相機(jī):

明視場相機(jī)代替目鏡

④ 顯微鏡:

正置科研級金相顯微鏡,標(biāo)配落射式明暗場照明,其它照明方式可升級

⑤ 電動位移臺:

75mm*50mm 行程高精度電動載物臺,1μm 定位精度

⑥ 光纖共聚焦耦合:

光纖共聚焦耦合為可選項(xiàng),提高空間分辨率

⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合:

標(biāo)配CCD- 狹縫耦合方式,可使用光譜儀成像模式,高光通量

⑧ 光譜CCD:

背照式深耗盡型光譜CCD相機(jī), 200-1100nm 工作波段,峰值QE > 90%

⑨ 320mm 光譜儀:

F/4.2高光通量影像校正光譜儀, 1*10-5 雜散光抑制比

SPM300系列半導(dǎo)體參數(shù)測試儀主要應(yīng)用

選型表

型號

描述

SPM300-mini

基礎(chǔ)款半導(dǎo)體參數(shù)分析儀,只含一路532nm 激光器,常規(guī)正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺

SPM300-SMS532

多功能型半導(dǎo)體參數(shù)分析儀,含532nm 激光器,常規(guī)正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺,

可升級耦合最多4 路激光器

SPM300-OM532

開放式半導(dǎo)體參數(shù)測試儀,含532nm 激光器,定制開放式顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺,

可升級耦合最多4 路激光器

系統(tǒng)參數(shù)

項(xiàng)目

詳細(xì)技術(shù)規(guī)格

光源

標(biāo)配532nm,100mW 激光器,其他激光可選,最多耦合4 路激光,可電動切換,功率可調(diào)節(jié)

光譜儀

320mm 焦距影像校正光譜儀,光譜范圍90-9000cm-1,

光譜分辨率

2cm-1

空間分辨率

<1μm

樣品掃描范圍

標(biāo)配75mm*50mm,最大300mm*300mm

顯微鏡

正置顯微鏡,明場或者暗場觀察,帶10X,50X,100X 三顆物鏡;開放式顯微鏡可選

載流子濃度分析

測試范圍測試范圍1017 ~ 1020 cm-3,重復(fù)性誤差<5%

應(yīng)力測試

可直觀給出應(yīng)力屬性(拉力/ 張力),針對特種樣品,可直接計(jì)算應(yīng)力大小,應(yīng)力均勻性分析

(需額外配置電動位移臺), 應(yīng)力解析精度0.002cm-1

晶化率測試

可自動分峰,自動擬合,自動計(jì)算出晶化率,并且自動計(jì)算晶粒大小和應(yīng)力大小

測試案例舉例



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